Xususiyatlari:

1) Nitridlash tezligi tezroq, nitridlash davri mos ravishda qisqartirilishi mumkin va ionli nitridlash vaqti gazni nitrlash vaqtining 1/3-2/3 qismiga qisqartirilishi mumkin.

2) Azotlanish qatlamining mo'rtligi kichik, plazma nitrlanishi yuzasida hosil bo'lgan oq qatlam juda nozik yoki hatto yo'q. Bundan tashqari, nitridlash qatlamidan kelib chiqadigan deformatsiya kichikdir, bu ayniqsa murakkab shakllarga ega nozik qismlarga mos keladi.

3) Energiya va ammiak sarfini tejash mumkin. Elektr energiyasi sarfi gazni azotlashning 1/2-1/5 qismini, ammiak sarfi esa gazni azotlashning 1/5-1/20 qismini tashkil qiladi.

4) Mahalliy nitridlanishni amalga oshirish oson, chunki nitrlanishni istamaydigan qism porlashni keltirib chiqarmasa, nitridlanmaydigan qismni himoya qilish oson va porlashni mexanik ekranlash va temir plastinka bilan himoya qilish mumkin.

5) Ion bombardimoni sirtni tozalashi va passivatsiya plyonkasini avtomatik ravishda olib tashlashi mumkin. Zanglamaydigan po'latdan va issiqlikka bardoshli po'latdan oldindan passivatsiya plyonkasini olib tashlamasdan to'g'ridan-to'g'ri nitridlangan bo'lishi mumkin.

6) Murakkab qatlam tuzilishi, infiltratsiya qatlamining qalinligi va tuzilishi nazorat qilinishi mumkin.

7) Davolanish harorati diapazoni keng va nitrlash qatlamining ma'lum bir qalinligi 350 C dan past bo'lsa ham olinishi mumkin.

8) Mehnat sharoitlari yaxshilandi. Ifloslanishsiz va plazma nitridlash bilan ishlov berish juda kam bosim ostida juda kam chiqindi gaz bilan amalga oshiriladi. Gaz manbai azot, vodorod va ammiak bo'lib, asosan zararli moddalar ishlab chiqarilmaydi.

9) U barcha turdagi materiallarga, shu jumladan zanglamaydigan po'latga, yuqori nitridlash haroratiga ega issiqlikka bardoshli po'latga, asbob po'latiga va past nitridlash haroratiga ega nozik qismlarga qo'llanilishi mumkin, past haroratli nitridlash esa gazni nitrlash uchun juda qiyin.