Xususiyatlari:

1) Nitridlash tezligi tezroq, nitridlash sikli mos ravishda qisqartirilishi mumkin va ionli nitridlash vaqti gaz nitridlash vaqtining 1/3-2/3 qismigacha qisqartirilishi mumkin.

2) Nitridlash qatlamining mo'rtligi kichik va plazma nitridlash yuzasida hosil bo'lgan oq qatlam juda yupqa yoki umuman yo'q. Bundan tashqari, nitridlash qatlami keltirib chiqaradigan deformatsiya kichik, bu ayniqsa murakkab shaklga ega aniq qismlar uchun juda mos keladi.

3) Energiya va ammiak iste'molini tejash mumkin. Elektr energiyasi iste'moli gazni nitridlashning 1/2-1/5 qismiga, ammiak iste'moli esa gazni nitridlashning 1/5-1/20 qismiga teng.

4) Mahalliy nitridlashni amalga oshirish oson, agar nitridlashni istamaydigan qism porlashni hosil qilmasa, nitridlanmagan qismni himoya qilish oson va porlashni mexanik himoya va temir plastinka bilan himoya qilish mumkin.

5) Ion bombardimoni sirtni tozalab, passivatsiya plyonkasini avtomatik ravishda olib tashlashi mumkin. Zanglamaydigan po'lat va issiqqa chidamli po'latni passivatsiya plyonkasini oldindan olib tashlamasdan to'g'ridan-to'g'ri nitridlash mumkin.

6) Murakkab qatlam tuzilishi, infiltratsiya qatlamining qalinligi va tuzilishini boshqarish mumkin.

7) Qayta ishlash harorati diapazoni keng va 350 C dan past haroratda ham ma'lum bir qalinlikdagi nitrid qatlamini olish mumkin.

8) Mehnat sharoitlari yaxshilandi. Ifloslanishsiz va plazma nitridlash juda past bosim ostida, juda kam chiqindi gaz bilan amalga oshiriladi. Gaz manbai azot, vodorod va ammiak bo'lib, asosan zararli moddalar ishlab chiqarilmaydi.

9) Zanglamaydigan po'lat, yuqori nitridlash haroratiga ega issiqlikka chidamli po'lat, asbob po'lati va past nitridlash haroratiga ega aniq qismlar kabi barcha turdagi materiallarga qo'llanilishi mumkin, past haroratli nitridlash esa gaz nitridlash uchun juda qiyin.