Ishlash nazariyasi:

Pechni vakuumga oldindan pompalash va keyin belgilangan haroratga qizdirish orqali nitridlash jarayoni uchun ammiakni shishiring, so'ngra nitrid chuqurligiga erishish uchun bir necha tsikldan so'ng pompalang va yana shishiring.

Afzalliklari:

An'anaviy gazni nitridlash bilan solishtiring. Vakuumli isitishda metall sirtining faolligi tufayli vakuumli nitridlash jarayoni kamroq vaqtni, yuqori qattiqlikni amalga oshirish uchun yaxshiroq adsorbsiya qobiliyatiga ega.aniqnazorat qilish, kamroq gaz iste'moli, ko'proq zich oq birikma qatlami.