Vakuumli karbürizatsiya ish qismini vakuumda isitishdir.Kritik nuqtadan yuqori haroratga yetganda, u bir muncha vaqt qoladi, gazsizlanadi va oksidi plyonkasini olib tashlaydi, so'ngra karbürizatsiya va diffuziya uchun tozalangan karbonlashtiruvchi gazga o'tadi.Vakuumli karbürizatsiyaning karbürizatsiya harorati yuqori, 1030 ℃ gacha va karbürizatsiya tezligi tez.Karburizatsiyalangan qismlarning sirt faolligi degassatsiya va deoksidlanish orqali yaxshilanadi.Keyingi diffuziya tezligi juda yuqori.Karbürizatsiya va diffuziya kerakli sirt konsentratsiyasi va chuqurlikka erishilgunga qadar takroriy va navbat bilan amalga oshiriladi.
Vakuumli karburizatsiya chuqurligi va sirt kontsentratsiyasini nazorat qilish mumkin;Metall qismlarning sirt qatlamining metallurgik xususiyatlarini o'zgartirishi mumkin va uning samarali karbürleme chuqurligi boshqa usullarning haqiqiy karburizatsiya chuqurligiga qaraganda chuqurroqdir.